W pracy opisano rozwój mikro- i nanoelektroniki próżniowej z uwzględnieniem osiągnięć ośrodków światowych i krajowych. Dziedzina ta rozwinęła się na pograniczu trzech nowoczesnych technologii, tzn. technologii próżniowej, mikroelektronicznej i mikromechanicznej. Przedstawiono kompleksowe opracowanie dotyczące technik wytwarzania mikro- i nanoemiterów z krzemu, węglika krzemu i nanorurek węglowych. Omówiono właściwości i zastosowanie matryc mikro- i nanoostrzy w takich miniaturowych urządzeniach, jak polowe źródło elektronów, płaskie źródło światła dla mikrospektrometrii fluorometrycznej i optyczny skanningowy mikroskop bliskich oddziaływań on-chip.